南大光电


在宁波市北仑区人民政府的大力支持下,宁波南大光电材料有限公司于2018年1月9日成立,是江苏南大光电材料股份有限公司为承接ArF光刻胶产品开发和产业化工作而专门建立的子公司。宁波南大光电位于宁波北仑美丽的芯港小镇,共占地86亩。到2020年底,宁波南大光电将在我国:1)首次建立ArF光刻胶产品大规模生产线,形成年产25吨ArF(干式和浸没式)光刻胶产品的生产能力,产品性能满足28-14nm集成电路制造的要求,通过IC企业的使用认证,实现批举销售;2)建立国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发的检测评估平台,平台配备ArF光刻机、涂胶显影一体机、特征尺寸扫描电镜、缺陷检测和分析等设备,满足先进光刻胶产品和技术开发的需求;3)建立一支貝有囯际水平的先进光刻胶产品开发和产业化队伍,宁波南大光电正在按项目讲度计划有序地推进ArF产业化工作。

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